17世紀(jì)，世界上**臺(tái)光學(xué)顯微鏡發(fā)明成功，并且利用這臺(tái)顯微鏡，人類首次觀察到了細(xì)胞的結(jié)構(gòu)，從而開始了人類使用儀器研究微觀世界的新時(shí)代。但是，由于受光波長的限制，光學(xué)顯微鏡的分辨率只能達(dá)到10^-6m~10^-7m。20世紀(jì)初，利用電子透鏡使電子束聚焦的原理，成功的發(fā)明了電子顯微鏡，它的分辨率達(dá)到了10^-8m。有了電子顯微鏡，比細(xì)胞小得多的病毒也露出了原形，增強(qiáng)了人們觀察微觀世界的能力。

　　1982年，格爾德·賓寧(Binning)和海因里?！ち_雷(Rohrer)在IBM位于瑞士蘇黎世的蘇黎世實(shí)驗(yàn)室發(fā)明了，世界上**臺(tái)具有原子分辨率的掃描隧道顯微鏡，利用針尖和表面間的隧道電流隨間距變化的性質(zhì)來探測表面的結(jié)構(gòu)，獲得了實(shí)空間的原子級(jí)分辨圖像。這一發(fā)明使顯微科學(xué)達(dá)到了一個(gè)新的境界，并對(duì)物理、化學(xué)、生物、材料等領(lǐng)域的研究產(chǎn)生了巨大的推動(dòng)作用。為此格爾德·賓寧和海因里希·羅雷于1986年被授予諾貝爾物理獎(jiǎng)。